達爾文居

應用材料公司總裁暨執行長麥克．史賓林特（Michael R. Splinter）今天專程由美國來台主持開幕儀式，他在致詞時表示，應材公司在台灣擁有最多的半導體晶圓廠客戶，在此設立第一座再生晶圓廠不僅可強化客戶服務，也是對台灣半導體產業的重大承諾。

應用材料公司全球客戶支援服務群台灣暨中國區總經理易錦良表示，應用材料公司繼2001年在南崁投資，成立亞太半導體零組件物流中心後，再度投資近新台幣九億元設立再生晶圓廠，除了可減少晶圓使用量、降低營運成本外，也是響應環保、節約資源的作法。

應用材料公司副總裁馬克．史塔克（Mark Stark） 指出，應材公司運用本身的製造設備與軟體，使測試晶圓延續百分之四十五的壽命，每片可重複使用達十一次，並研發獨家處理技術，在清除晶圓上所附著以碳為材 質的低介電質薄膜時，不會移除晶圓上的矽材質，在再生過程中不會破壞晶圓本身。應用材料公司南科再生晶圓廠佔地約 三千一百二十平方米 ，配有三間潔淨室，以先進的製造設備為客戶提供再生晶圓技術，目前已進入小規模量產，為三家客戶進行再生處理。